近期熟女镇，工信微报微信公众号发文线路《首台（套）要紧技艺装备施行期骗引导目次（2024年版）》。其中，在电子专用建立一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该府上明白，氟化氩光刻机具有65纳米以下的差别率和8纳米以下的套刻精度。
据东兴证券(601198)研报，光刻机可分为直写光刻机与掩膜光刻机，阛阓主流有i-Iine（汞线）、KrF（氟化氪）、ArF（氟化氩）、ArFi（浸润式氟化氩）、EUV（极紫外）五大类。
这次入选施行目次的氟化氩光刻机，应属于干式ArF光刻机。在具体谋略上，与ASML旗下TWINSCAN NXT：1470 以及TWINSCAN XT：1460K访佛。
国产光刻机实力几何？
据工信微报发文，这次引导目次是为促进首台（套）要紧技艺装备蜕变发展和施行期骗，加强产业、财政、金融、科技等国度复旧策略的协同。
具体来看，氟化氪光刻机晶圆直径为300mm（12英寸），照明波长为248mm，差别率≤110nm，套刻≤25nm。比较之下熟女镇，阿斯麦（ASML）的氟化氪光刻机型号有TWINSCAN NXT：870、TWINSCAN XT：860N 和 TWINSCAN XT：860M。这三个型号，波长均为248mm，差别率≤110nm。
欧美色情而引导目次中更为先进的氟化氩光刻机，其照明波长为193mm，差别率≤65nm，套刻≤8nm。这一数据与ASML旗下TWINSCAN XT：1460K 最为接近。该型号照明波长为193mm，差别率≤65nm。此外，该系统不错在偏振照明下已毕低至57nm的坐蓐差别率。
比较之下，ASML浸润式光刻机TWINSCAN NXT 1980Fi差别率≤38nm。据民生证券研报，该型号可已毕2.5nm的套刻精度（MMO）。
据东海证券征引ASML官网数据，2023年种种光刻机均价为：EUV（17386万欧元）、ArFi（7196万欧元）、ArFdry（2742万欧元）、KrF（1192万欧元）、i-Iine（399万欧元）。
东海证券以为，现在光刻机国产化率仅为2.5%，h动漫整机技艺与国外差距较大，5~10 年内90nm、28nm光刻机的研发量产较为要津。
光刻机产业链亟须发展
东海证券称，字据中国国际招标网信息，半导体建立招标中，刻蚀、千里积等中枢建立的国产化率获取了较大的进步，中枢在于技艺上我国关连企业也曾渐渐追逐上国外企业；但光刻机当作中枢建立，国产化率不及3%，中枢原因在于零组件供应与整机技艺与国外差距较大。
9月18日，东方钞票(300059)宗旨板块中，光刻机（胶）板块排行靠前，板块合座涨幅达2.47%。其中，同飞股份、波长光电均收货20%涨停；新莱应材(300260)高涨12.40%。此外，张江高科(600895)、海立股份(600619)、凯好意思特气(002549)等也涨停。
张江高科受热心，主要因为其曾投资上海微电子。张江高科于9月10日在投资者相易平台走漏，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子2.23亿元，握有上海微电子10.779%的股权，后续未增握或减握。
东兴证券称，上海微电子是我国第一家亦然现在唯独的光刻机巨头，出货量占国内阛阓份额进步80%，居品主要波及ArF、KrF和i-line范围，其已具备90nm及以下的芯片制造才智。
光刻机零部件方面，同飞股份曾在2023年中报走漏，其液体恒温建立在半导体制造建立范围，主要期骗于光刻机、刻蚀机、研磨抛光机等要津建立的温度限制。
不外，字据东兴证券研报，光刻机中枢组件包括光源系统、双职责台、物镜系统、瞄准系统、曝光系统、浸没系统、光栅系统等。配套表率包括光刻胶、掩膜版、涂胶显影等。
光源系统方面，据华金证券，针瞄准激光光源，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；福晶科技(002222)研发KBBF晶体。
另据东兴证券，波长光电为国内激光光学元件的主要供应商，现在，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的才智，公司顺利开采的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机范围配套。
波长光电曾于2023年9月15日线路投资者举止记载表称，公司在半导体范围主要波及两个范围：一个是坐蓐范围，即曝光机、光刻，公司可提供大口径光学镜头用于检测，作念折反、投射，还不错提供平行光源系统；另一个是检测范围，公司可提供检测建立上的光学元件、组件，也可为客户定制开采、装音调系统。
物镜系统方面，东兴证券称，茂莱光学光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技艺已已毕产业化。
东海证券研报明白，中国2023年入口光刻机数目高达225台，入口金额高达87.54亿好意思元，入口金额创下历史新高，瞻望3~5年内我国光刻机仍主要依赖入口。一台先进的光刻机有多达10万个零部件，合座来看我国半导体零组件的国产化率至极低，尽管在各个赛谈均有关连的国有企业在不休发展，但距离国外企业依然有较大的差距，同期也预示着国内零组件企业公司有较大的发展机遇。
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